您的位置: 主页 > 复杂地形样品扫描电子显微镜图像的对比模拟

复杂地形样品扫描电子显微镜图像的对比模拟

电子真空技术
扫描电镜观察电位对比的实验研究
首先,观察集成电路芯片的潜在表面对比度是动态检测和故障分析的有效手段[1,2]。
扫描电子显微镜广泛用于全国的半导体工业中,并具有观察潜在对比的条件。执行此任务非常重要。
然而,常见的扫描电子显微镜主要用于观察样品表面的对比度,其工作条件不足以观察潜在的对比度。区分“夹点差异”需要相当多的实验经验和技能。
此外,样品的电位分布与观察到的对比度之间的非线性可能导致错误的决定。
这限制了扫描电子显微镜观察到的潜在对比度。
虽然国内研究已经开展,但仍缺乏深入研究和相应的实验依据。
为了使用扫描电子显微镜进行动态检测和故障分析,有必要对潜在的对比度进行实验研究,以便找到相关参数之间的关系。
请在测试中避免“一性”。
实验测试原理电子束到达样品产生的二次电子能量很低,调制蒙太奇探针在芯片表面上收集的二次电子通量反映了电位对比度的变化。
图1是扫描电子显微镜的二次电子收集器的示意图。
图1和图1。Vj是检测到的二次电宽信号V.
收集极端的可能性,“针对核心距离的目标。
(本文有3页)
阅读全文
允许来源:“电子真空技术”1987-02


上一篇:狼的意思是什么?离开马是什么意思?
下一篇:没有了

您可能喜欢

​如何在水箱中种植莲藕。

​如何在水箱中种植莲藕。

​完美的牛奶馅

​完美的牛奶馅

​[方言]陕西方言中有很多“”“!

​[方言]陕西方言中有很多“”“!

回到顶部